描述:智能勻膠機英文SPIN COATE 或者SPIN PROCESSOR ,又稱甩膠機,勻膠臺,旋轉(zhuǎn)涂膜儀,旋涂儀。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家更新時間
2024-02-20訪問量
3491產(chǎn)品分類
Product Category技術(shù)文章
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1.智能勻膠機簡介:
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實用,方便實用。
2.智能勻膠機特點:
1.結(jié)構(gòu)緊湊,適合直接放于手套箱 內(nèi)操作;2. 7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設(shè)置一鍵啟動按鈕, 操作方便;3 .可單步和多步勻膠操作;4. 工業(yè)級馬達,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),運行穩(wěn)定;5. 溶劑PC透明蓋;6. 真空泵與勻膠機同步工作,勻膠機旋轉(zhuǎn),真空泵就啟動,勻膠機停止,真空泵就停止;7. 設(shè)置有開機密碼功能,提高設(shè)備操作安全性;8. 左上面配有載物槽,(φ28深16)放藥水瓶更加方便。
技術(shù)參數(shù):
外形尺寸:335mm(D)x228mm(W)x215mm(H)
標(biāo)配三種真空吸盤(φ10mm,φ20mm,φ45mm)
φ10mm吸盤(可載基片最小φ10mm 最大φ20mm)
φ20mm吸盤(可載基片最小φ20mm 最大φ47mm)
Φ45mm吸盤(可載基片最小φ37mm 最大φ55mm)
速度可調(diào)范圍:200-10000rpm
減速可調(diào)范圍:300-3000RPM/S
轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
旋轉(zhuǎn)時間范圍:1-3000S
加速可控范圍:300-5000RPM/S
可編程5組5步程序
真空輸入:0.06-0.09Mpa,真空流量最小15L/Min
真空接口:設(shè)備后面板出口外徑6mm
電源輸入: 220V 150W